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捷迅通射频匹配网络是深圳捷迅通射频技术有限公司自主创新开发的产品。定制化的射频匹配拓扑设计、实时在线测量 技术以及创新控制算法,保证了射频匹配网络具有更加卓越的性能、更高的射频功率能效、更精准的控制和更高的可靠 性,与普通射频网络相比,射频能效高5%-12%;可实现豪秒级至秒级快速匹配;反射功率低于入射功率的1%;可重复性 高于97%。
捷迅通射频匹配网络适用于对工艺制程的要求比较高的等离子体脉冲工艺,广泛应用于光伏、半导体制造和材料改性等行业,其主要特点如下:
射频功率能效高:采用定制化射频拓扑和改进的网络工艺,平均能效高5%-12%。
快速匹配:采用在线实时测量技术快速控制技术,保证射频匹配网路在等离子体腔体阻抗快速变化过程中可快速实现匹配。
高可靠性:采用自适应匹配路径算法,保证射频匹配网络匹配路径的可靠性,从而实现高可靠性的射频阻抗匹配,为等
离子体腔体工艺的一致性提供高可靠性保障。
高精度:优化射频匹配网络自动匹配算法,对射频匹配网络的可调器件进行更加快速准确的控制,从而实现反射功率低于入射功率的1%。
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